Wafer robot (Hiwin)
Wafer Robot คือ หุ่นยนต์อุตสาหกรรมที่ถูกออกแบบมา เพื่อใช้หยิบจับและเคลื่อนย้าย แผ่นเวเฟอร์ (Silicon Wafer) ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
หน้าที่หลักคือการโหลดแผ่นเวเฟอร์เข้า-ออกจากกล่องเก็บ (FOUP) ปยังเครื่องจักรแต่ละสเตชัน เพื่อ เคลือบสาร
กัดลายวงจร หรือ ตรวจสอบคุณภาพ
-
ควบคุมแม่นยำระดับไมครอน : ความแม่นยำในการทำงานซ้ำ (Repeatability) สูงถึง ±0.1 มิลลิเมตร
-
ยืดหยุ่นทุกการหยิบจับ : รองรับการทำงานแบบ Non-radial pick and place และสามารถติดตั้งโมดูล พิเศษสำหรับพลิกแผ่นเวเฟอร์ ได้ตามต้องการ
-
Mapping Sensor : มีเซนเซอร์ตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์ ป้องกันความผิดพลาดจากการซ้อนทับหรือ ความเอียงของชิ้นงาน
Payload : 1 kg / 2 kg / 3 kg
Arm Length : 135 mm / 165 mm / 185 mm
Z Axis Stroke : 300 mm / 340 mm / 420 mm / 500 mm
Repeatability : ±0.1 mm
Cleanliness : มาตรฐาน Class 100 (สามารถสั่งทำพิเศษเป็น Class 10 หรือ Class 1 ได้)
